1 電火花線切割加工
電火花加工中的細微電火花加工已得到廣泛的應用。WEDG技術的出現，圓滿地解決了微細電極的制作與安裝問題，使微細電火花加工進入了使用化階段。在這一方面，日本東京大學增澤隆久等人已加工出Φ2.5mm的微細軸和Φ5mm的微細孔，代表了這一領域的世界前沿。據統計，微細電火花加工再電火花加工中所占的比重正逐年上升，目前已接近10%。
慢走絲線切割新技術不斷涌現
慢走絲線切割加工是近年來的主要發展熱點。隨著無電解脈沖電源、優化能量脈沖電源、去離子水對離子的控制以及一系列精密加工技術的開發應用，使慢走絲線切割加工的發展達到了一個新的階段。瑞士阿奇夏米爾公司的慢走絲線切割機床能獲得輪廓精度1.5um及Ra0.1um的加工質量，能適合精密沖模的加工。隨著國產化的實現，這類機床的價格正在快速降低并逐漸廣為應用。
Agie公司開發出了Agiecut Vertex雙絲EDM機床。該機床帶有兩個卷軸，可使用不同直徑的金屬絲同時切割，以提高切割的效率。全部操作自動完成，并有傳感器監控其運行。割絲的直徑為0.02-0.02mm。
2 電火花加工技術向高精度和高自動化發展
近年來，數控電火花加工技術可以用標準的銅管電極，應用CAD/CAM技術完成二維或三維型面加工，不需要制造成形電極，大大簡化了電極的準備，在高精度加工方面，具有良好的前景。
最近日本發明了一種新的電火花成形的加工方法，即在加工液中加入適量的微細硅粉末，或者鋁粉、石墨粉均可，可以使表面精度提高數倍以上。目前這種加工方法對應的電火花機床也已經商品化。今后電火花放電技術離不開3種趨勢，即高速度化、高精度化和高自動化。
3 機械特種加工
可以分為磨料流動加工、噴水加工、低應力磨削、超聲波加工等多種加工方法。
磨料水噴射加工可以勝任精密切割，加工工件無毛刺，其次水噴射加工的另一個優點是它可以觸及其他工具不易達到的地方。
超聲波特種加工使用刀具生產振動振幅通過傳遞，液體磨料顆粒得到能力，撞擊工件，實現加工。這種技術應用還不廣泛，主要用在模具的超生波拋光上。國外正在對超聲波磨料加工展開研究。特別對回轉式超聲波研究，使深孔鉆加工質量明顯提高，多年來美國一直在進行超聲波輔助金剛石刀具加工的研究，日本也正在進行超聲波輔助磨削的開發。
4 其他熱特種加工
其他熱特種加工是指用電子束、激光束、等離子束產生熱量來融蝕金屬而達到加工的目的。主要有電子束、電火花磨削、激光加工、等離子束加工等加工方法。
電子束加工技術近20年發展迅速，電子束已經能走進精微、焊接、涂膜、熔煉、熱處理、曝光、輻射等加工。電子束加工技術將向高功率化、高精度化、微細化、自動化方向發展。
離子束加工可以進行銑刻、濺射涂膜、離子鍍和微細加工等，特別IAC技術兼有氣相沉積和離子注入兩者的優點，可以制備出粘接力很強、結構致密的各種性能優良的功能鍍層。等離子弧輔助切削加工能改變硬度40-70HRC金屬材料和高溫合金材料的局部材質的物理機械性能。 
